超臨界流體是指溫度和壓力都處於臨界點以上的物質，兼具液體和氣體性質，其密度大大高於氣體，黏度比液體大為減小，擴散度接近於氣體。另外，根據壓力和溫度的不同，其物性還會發生變化。因此，利用超臨界流體作為溶劑，可將吸附在活性炭上的有機汙染物擴散、溶解於超臨界流體有效分離，即可達到再生的目的。目前研究較多的超臨界流體是超臨界二氧化碳，它具有較低的超臨界溫度和適宜的臨界壓力，其密度大、對有機物的溶解度大、黏度小、傳質速率高、擴散性能好和表麵張力極低，便於表麵滲透進入活性炭的微孔體係，活化微小孔徑進行再生，再生過程可間歇操作也可連續操作。
        超臨界流體再生的優點是再生過程中活性炭損耗很少，消耗能量少。對吸附了不同有機物的研究發現，第一次再生後活性炭的吸附效率有所下降，但是反複再生後趨於平穩。
        超臨界流體再生法也存在一些問題，包括：①目前所研究的有機汙染物十分有限，難以證明該技術應用的廣泛行；②所采用的超臨界流體僅限於CO2。因而該活性炭再生過程受到限製；③在熱力學和動力學基礎理論研究方麵不夠深入，缺乏基礎數據。
超臨界流體再生法具有很大的發展潛力，但目前還處於實驗研究階段，未見中試和工業規模研究報道。

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